被人卡着脖子的滋味,真不好受。
尤其是在芯片这事上,人家一句话,那台全世界最顶尖的光刻机,连带着服务,说断就给你断了。
那感觉,就像是未来发展的总开关,被别人攥在手里。
他想让你亮,你就亮。想让你暗,你就得摸黑。
这种憋屈,谁能忍?
所以,当那扇门被“咣当”一声关上时,反而有不少人心里亮堂了。
行,不卖是吧?
那这道光,咱们自己点亮。
哈工大那帮人,最先扔出来一个“王炸”。
他们没去硬啃人家那条老路,那太慢了,也太难了。人家玩激光,把锡珠子打成等离子体发光。
咱们换个赛道。
哈工大搞了个叫“放电等离子体”的东西,简称DPP。
说白了,就是用另一种更直接的法子,把那束极紫外光给“逼”出来。这条路,可能结构更简单,效率还更高。
这不是画饼。
2025年初,原型机出来了,功率稳稳干到了120瓦以上。
这一下,所有人都明白,我们不是在模仿,我们是在另起炉灶,而且这个新灶,火烧得很旺。
当然,这不是哈工大一个人的战斗。
你以为这种惊天动地的大事,能是哪个天才一拍脑袋就搞出来的?
背后,是一个叫“02专项”的国家级大计划,已经默默铺垫了十几年。
这盘大棋里,藏着一个“国家队天团”。
长春光机所,专门啃最硬的骨头——光学系统。
你想想,要把一束13.5纳米的光,在无数个镜片之间精准反射,不出一点差错。那些镜片,每一片都得镀上几十上百层比病毒还薄的钼硅膜。
这玩意儿,说是现代光学的珠穆朗玛峰都不过分。
长春光机所,就是要当那个登顶的人。
还有上海微电子,SMEE。
他就是那个总指挥,负责把全国各地送来的顶级“零件”,像光源、镜片、工件台,完美地组装成一台能干活的机器。
说到零件,光有光源还不够。
北京一家企业,也拿出了自己的看家本领:磁悬浮双工件台。
这台子是干嘛的?就是托着芯片满场飞的那个平台。
它的精度有多恐怖?0.5纳米。
这么说吧,就等于在一根飞速移动的头发丝上刻一部万字小说,笔画还不能有一丝丝的抖动。
更关键的是,这台子从材料到技术,全是咱们自己的。
拼图一块块凑齐了。
光源有了,最难的镜片有底了,托着芯片跑的台子也有了。
还差什么?
“神奇药水”——光刻胶。
没有这层“底片”,再牛的光刻机也是白搭。
以前这东西也攥在日本、美国手里。现在,中科院化学所、北京科华这些人,也在拼命追。国产的光刻胶,已经悄悄送进工厂里去验证了。
好了,万事俱备。
当哈工大的光源,装上北京的工件台,跑在一条试验线上时,所有人都屏住了呼吸。
结果出来了。
良品率75%。
这个数字,意味着我们从图纸,真正走到了现实。
意味着这条我们自己摸索出来的路,走得通!
被锁住的门,终将由我们自己亲手推开。
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